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1) 最小線間距：50μm（在FR4 板材18μm銅箔上）
2) 最小線寬：50μm（在FR4 板材18μm銅箔上）
3) ******加工區(qū)域：320mm×320mm
4) 重復(fù)定位精度：≤±2μm
5) 系統(tǒng)定位精度：≤±5μm
6) 最高加工速度：8.5 cm2/min（在FR4 板材18μm銅箔上）
7) 激光波長：1064 nm
8) 激光平均輸出功率：30W
9) 工作頻率：20-80kHz
10) 激光預(yù)熱時(shí)間：10s
11) 使用高端數(shù)字掃描振鏡
12) 使用高端遠(yuǎn)心透鏡
13) 采用全密封光路
14) 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)分辨率：0.5μm
15) 振鏡分辨率：20μrad
16) 使用大理石基座
17) X、Y、Z軸使用高精度伺服電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器
18) X、Y、Z軸使用C5級(jí)導(dǎo)軌
19) 配有立式機(jī)罩
20) 配有鏡頭保護(hù)風(fēng)幕
21) 配有工業(yè)吸塵系統(tǒng)
22) 配有高分辨率攝像頭及漫反射光源
23) 有攝像頭靶標(biāo)定位功能
24) 加工頭吸附于工作臺(tái)吸附獨(dú)立切換
25) 采用前后進(jìn)風(fēng)、雙側(cè)排風(fēng)散熱方式
26) 有開蓋自動(dòng)停止保護(hù)功能
27) 配有工業(yè)控制計(jì)算機(jī)及顯示器
28) 配有真空吸附平臺(tái)
29) 軟件：Circuit Workstation
30) 電源：220VAC/50Hz
31) 功率：1.7kW（不包括吸塵系統(tǒng)）
32) 外形尺寸：1450*1320*1500mm
33) 重量：450kg
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